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半導(dǎo)體主要的測試環(huán)節(jié):WAT、CP、FT


2023-12-25 17:20

WAT(Wafer Acceptance Test)測試,也叫PCM(Process Control Monitoring),對Wafer 劃片槽(Scribe Line)測試鍵(Test Key)的測試,通過電性參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定。CP(Circuit Probing)也叫“Wafer Probe”或者“Die Sort”,是對整片Wafer的每個Die的基本器件參數(shù)進(jìn)行測試,例如Vt(閾值電壓),Rdson(導(dǎo)通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,把壞的Die挑出來,會用墨點(Ink)標(biāo)記,可以減少封裝和測試的成本,CP pass才會封裝,一般測試機(jī)臺的電壓和功率不高,CP是對Wafer的Die進(jìn)行測試,檢查Fab廠制造的工藝水平。CP測試程序和測試方法優(yōu)化是Test Engineer努力的方向。FT(final test)是對封裝好的Chip進(jìn)行Device應(yīng)用方面的測試,把壞的chip挑出來,F(xiàn)T pass后還會進(jìn)行process qual和product qual,F(xiàn)T是對package進(jìn)行測試,檢查封裝造廠的工藝水平。

 


總而言之,WAT是在晶圓制造過程中進(jìn)行的測試,通過對Die與Die之間Scribe Line Test Key電學(xué)性能的測試,來監(jiān)控Fab制程的穩(wěn)定性;CP測試是制造完成后,封測之前進(jìn)行的電學(xué)測試,把壞的Die標(biāo)記出來,減少封裝的成本;FT是Die切割,打磨,封裝后進(jìn)行器件功能性的測試,可以評價封測廠的封裝水平,只有所有的測試都通過后,才可以應(yīng)用到產(chǎn)品上。

 

 

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